加工環境

外乱振動の影響を除去するために、5m×10m×0.7m の基礎工事を行いました。VM52 床振動レベル計（リオン製）で床振動を測定した結果、変異振動は 1μm 以内に抑えられています。

機械の上では、機械が止まっている時の位置偏差を、サーボ制御で3軸すべて2パルス（1パルス2ナノ）以内に保っています。

温度の外乱については、室内温度を ±1℃ に管理しています。さらに ±0.5℃ に温度制御された恒温ブースの中に、超精密加工機を置いています。外乱要因を最小限に抑えることで、超精密加工を実現しています。

本社工場は2003年7月に現在地へ移転しました。